فلو کنترلر و فلومترهای جرمی حرارتی فلزی
کنترل کننده ها و مترهای جریان جرمی حرارتی مهر و موم شده فلزی
مسیر جریان با بالاترین خلوص کنترل فوق العاده دقیق و بدون آلاینده.بسیاری از فرآیندهای پیشرفته ساخت دستگاه های الکترونیکی امروزی نیاز به اندازه گیری و کنترل بسیار دقیق و بسیار قابل تکرار و کنترل گازهای فوق خالص گران قیمت و پیش سازهای مایع دارند. Brooks Instrument این نیازها را با کنترل‌کننده‌ها و کنتورهای جریان جرم حرارتی مهر و موم شده فلزی ما برآورده می‌کند. کنترل شیمی دقیق از طریق ترکیبی از سنسورهای اندازه گیری فوق العاده پایدار و بسیار دقیق، دریچه های کنترل دقیق سریع و الکترونیک دیجیتال قدرتمند به دست می آید. خلوص شیمی فرآیند با یکپارچگی بالا (نشت نشتی)، خلوص فوق‌العاده بالا و مسیر جریان خیس‌شده تمام فلزی تضمین می‌شود که برای جلوگیری از آلوده‌کننده‌های بیرونی مانند رطوبت و اکسیژن در محیط فرآیند طراحی شده است.
برنامه های کاربردی کلیدی
فرآیندهای ساخت دستگاه نیمه هادی سیلیکونی - Etch، Strip، CVD، ALD، PVD، Epi، Diffusion، ایمپلنت و RTPفرآیندهای ساخت دستگاه نیمه هادی مرکب - MOCVD
پوشش های سطحی مهندسی شده دقیق
سیستم های تحلیلی
برنامه های کاربردی خلاء را پردازش می کند
در زیر لطفا سری های موجود را بیابید
سری GF۱۳۵
سری GF۱۲۵
سری GF۱۰۰
سری GF۸۰
سری ۵۸۵۰EM
انواع فلو کنترلر و فلومترهای جرمی حرارتی فلزی
